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基于共焦显微镜原理的测量技术研究现状-江南永新光学

[导读]南京江南永新光学有限公司对共焦测量技术的结构类型以及所采用的测量原理进行了分析,指出虽然影响共焦成像质量的许多因素,生物显微镜都有详尽的理论分析,但在利用共焦原理作为表面宏观尺寸和微观形貌的测量方面,对测量对象本身的特征包括表面的几何特征

利用生物显微镜如表面的倾斜、粗糙程度,以及物理特征,如材质对光波的作用等所引入的对共焦测量系统特性影响的分析尚缺乏理论研究。这些问题的解决对应用共焦技术进行几何量测量具有重要的意义。扫描电子显微镜是一种大型分析仪器,它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。南京江南永新光学有限公司所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的,只是在结构和部件上稍有差异而已在电子扫描中把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同行扫描的速度比帧扫描的速度快,对于1000条线的扫描图象来说速度比为1000。电子显微镜的工作是进入微观世界的工作。南京江南永新光学有限公司介绍我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西,在微观世界中,这个微也就不称其微,我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位,及lnm=10mm。扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处,而与适射电镜的成像原理完全不同。适射电镜是利用成像电磁适镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象适镜其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用最广泛,分辨本领最高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成急的原理。



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